泰克2600-PCT-1B參數曲線跟蹤儀

高性能器件特性分析

開發和使用MOSFETS、IGBTs、二極管及其他高功率器件要求完善的器件級特性分析，如擊穿電壓、開態電流和電容測量。吉時利一系列高功率參數曲線跟蹤儀配置支持全系列器件類型和測試參數。吉時利參數曲線跟蹤儀配置包括特性分析工程師迅速開發完整的測試系統所需的一切。ACS基本版軟件提供了完整的器件特性分析，包括實時跟蹤模式及全部參數模式，實時跟蹤模式用來迅速檢查基礎器件參數， 如擊穿電壓；全部參數模式用來提取精確的器件參數。ACS基本版超越了傳統曲線跟蹤儀接口的能力，提供了廣泛的一系列樣本庫。更重要的是，用戶可以全面控制所有測試資源，創建以前在曲線追蹤儀上不能26實00現-P的C更T-先4B進型的，測試。

分析各種功率器件類型的電特性，包括：

分析各種功率器件類型的電特性，包括：

吉時利參數曲線跟蹤儀同時支持封裝部件測試和晶圓級測試。

主要特點:

• 為*性能價格比設計的完整的 解決方案
• 現場可升級，可重新配置 – 把PCT 轉換成可靠性或晶圓分類測試儀
• 可以配置功率電平：
  –從200V到3kV
  –從1A到100A
• 寬動態范圍：
  –從μV到kV
  –從fA到100A
• 范圍全面的電容電壓(C-V)功能：
  –從fF到μF
  –支持2端子、3端子和4端子器件
  –高達3kV DC偏置
• 高性能測試夾具支持多種封裝類型

應用

• 功率半導體器件特性分析與測試
• GaN、SiC、LDMOS以及其他器件
• 特性分析
• 功率器件可靠性研究 器件檢測與質量認證

吉時利參數曲線跟蹤儀同時支持封裝部件測試和晶圓級測試。

吉時利參數曲線跟蹤儀配置是完整的特性分析工具，包括功率器件分析所需的主要要素。測量通道包括吉時利數字源表®源測量單元(SMU)儀器和選配的多頻率電容-電壓(C-V) 表。這些儀器的動態范圍和準確度比傳統曲線跟蹤儀高出若干量級。

完整的系統附件

為了實現這種性能，吉時利公司已經開發出一系列高精密電纜，實現與吉時利8010型高功率器件測試夾具或8020型高功率接口面板的連接，前者用于封裝部件測試，后者用于晶圓級測試。對于高電壓通道，定制三軸電纜可以提供保護路徑，支持快速穩定和超低電流，包括在3kV全高壓情況下。對于高電流通道，低電感電纜可以提供快速上升時間脈沖，使器件自熱效應達到小。

高壓電容-電壓(C-V)

測試器件電容相對DC電壓的關系正變得越來越重要。吉時利提供了PCT-CVU型多頻率電容電壓表。在與選配的200V或3kV偏置T型裝置結合使用時，可以在兩端子、三端子或四端子器件上測量電容相對電壓的關系?？梢詼y量從pF到100nF的電容，支持10kHz ~ 2MHz的測試頻率。ACS基本版軟件提供了60多種內置C-V測試，包括MOSFET Ciss、Coss、Crss、Cgd、Cgs、Cds及全套其他器件，如BJTs和二極管。一如既往，用戶可以實現全面控制，在ACS基本版軟件中開發自己的測試算法。

1.關于定制配置，請與吉時利現場應用工程師聯系。
2. 通過添加2651A型號，可以將高電流模式增加到50A或100A。
3. 可以在任何配置中增加PCT-CVU多頻率電容表。

半導體參數測試軟件，適用于組件與分立器件

ACS基本版本軟件是專為利用吉時利儀器的高性能能力而開發 的，它包括幾個履行常見高功率器件測試的樣本庫。與其他系 統不同的是，該軟件在測量通道配置方面，給用戶帶來幾乎不 受限制的靈活性，可以創建傳統曲線跟蹤儀無法實現的測試。

多測試模式允許對一個器件進行多項測試。

跟蹤模式支持器件的交互測試。

與傳統曲線跟蹤儀相比，PCT圖形提供了高分辨率屏幕數據分析功能、完整的圖形定制能力，并能夠簡便地報告到任何字處理軟件或報告軟件。

泰克2600-PCT-1B參數曲線跟蹤儀

典型功率晶體管參數

1. 用于提取參數的測試方法。僅列出典型MOSFET，其他器件使用的方法類似。
2. 2657A型高功率系統數字源表儀器。
3. 2636B型數字源表或4210型源測量單元（SMU）儀器。
4. 2651A型高功率系統數字源表儀器或者可選擇雙2651A型高功率系統數字源表儀器。
5. 在3000V電壓時大電流20mA，在1500V電壓時大電流120mA。
6. 典型提取能力(示例: 1mA/1V ～ 1A/1mV)。
7. 典型提取能力(示例: 1mV/10A)。
8. 使用PCT-CVU和CVU-3K-KIT時，大±200V直流 (±3kV)偏置。

8010高功率器件測試夾具

8020高功率接口面板

高電流、低電感電纜

高電壓、低噪聲三同軸電纜

2600-PCT-4B型，帶有8010型測試夾具

典型測試簡介

公式函數簡介

類型

算術

ABS, AVG, DELTA, DIFF, EXP, LN, LOG, LOG10, SQRT

參數提取

GMMAX, RES, RES_4WIRE, RES_AVG, SS, SSVTCI, TTF_ DID_LGT, TTF_LGDID_T, TTF_DID_T, TTF_LGDID_LGT, VTCI, VTLINGM, VTSATGM

擬合

EXPFIT, EXPFITA, EXPFITB, LINFIT, LINFITSLP, LINFITXINT, LINFITYINT, REGFIT, REGFITSLP, REGFITXINT, REGFITYINT, REGFIT_LGX_LGY, REGFIT_ LGX_Y, REGFIT_X_LGY, TANFIT, TANFITSLP,TANFITXINT, TANFITYINT

操作

AT, FINDD, FINDLIN, FINDU, FIRSTPOS, JOIN, LASTPOS, MAX, MAXPOS, MIN, MINPOX, POW, SMOOTH